仪器品牌: 日本精密型号:SURFCOM 480A量程/分辨率:80um/1nm, 800um/10nm, 8um/0.1nm
仪器应用:主要用于材料表面膜层的测量。
样品要求:膜层较为平整,基材平整。膜层大于100nm。